光譜分析儀的內(nèi)標(biāo)是用于動(dòng)態(tài)校正樣品和標(biāo)準(zhǔn)之間物理差異，所有樣品都跟同一元素進(jìn)行比對(duì)而進(jìn)行校正的，根據(jù)內(nèi)標(biāo)元素信號(hào)的降低或者增強(qiáng)來對(duì)樣品進(jìn)行校正。內(nèi)標(biāo)抗干擾能力強(qiáng)，并且能解決物理方面造成的差異。

由于激發(fā)源條件變化等原因，譜線絕對(duì)強(qiáng)度再現(xiàn)性較差,所以在實(shí)際光譜分析時(shí)一般采用相對(duì)強(qiáng)度,選用一條比較譜線,用分析線與比較線強(qiáng)度比進(jìn)行光譜定量分析，所采用的比較線稱為內(nèi)標(biāo)線或參比線，提供這種比較線的元素稱為內(nèi)標(biāo)元素。

一般以被測(cè)樣品基體作為內(nèi)標(biāo)元素,以內(nèi)標(biāo)元素的一條或幾條譜線作為內(nèi)標(biāo)線，如分析鋼鐵時(shí)以鐵為內(nèi)標(biāo)元素。以CCD為檢測(cè)器的儀器則沒有出射狹縫，其波長示值誤差就是實(shí)際的譜線波長誤差，其檢定方法與ICP光譜類似。譜線標(biāo)準(zhǔn)值一般軟件里有注明，也可查詢美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)標(biāo)準(zhǔn)光譜譜線庫。